真空熱處理即真空技術(shù)與熱處理兩個(gè)專業(yè)相結(jié)合的綜合技術(shù)，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的。真空熱處理爐熱效率高，可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，可實(shí)現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。
真空熱處理即真空技術(shù)與熱處理兩個(gè)專業(yè)相結(jié)合的綜合技術(shù)，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數(shù)真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。真空熱處理幾乎可實(shí)現(xiàn)全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實(shí)現(xiàn)氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進(jìn)行真空釬焊、燒結(jié)、表面處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，可實(shí)現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。一般來說，被處理的工件在爐內(nèi)加熱緩慢，內(nèi)熱溫差較小，熱應(yīng)力小，因而變形小。產(chǎn)品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作的機(jī)械性能和使用壽命。工作環(huán)境好，操作安全，沒有污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險(xiǎn)，對(duì)鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性好。這一系列的優(yōu)點(diǎn)，開發(fā)真空熱處理設(shè)備和工藝被越來越重視和應(yīng)用越來越廣。
一般金屬材料在空氣爐中加熱，由于空氣中存在氧氣、水蒸氣、二氧化碳等氧化性氣體，這些氣體與金屬發(fā)生氧化作用易使被加熱的金屬表面產(chǎn)生氧化膜或氧化皮，完全失去原有的金屬光澤。同時(shí)這些氣體還要與金屬中的碳發(fā)生反應(yīng)，使其表面脫碳。如果爐中含有一氧化碳或甲烷氣體，還會(huì)使金屬表面增碳。對(duì)于化學(xué)性質(zhì)非常活潑的Ti、Zr以及難溶金屬W、Mo、Nb、Ta等，在空氣爐中加熱，除了要生成氧化物、氫化物、氮化物外，還要吸收這些氣體并向金屬內(nèi)部擴(kuò)散，使金屬材料的性能嚴(yán)重惡化。這些氧化、脫碳、增碳、吸氣甚至產(chǎn)生腐蝕等弊病，在可控氣氛爐或鹽浴爐中加熱，有時(shí)也難以避免。為解決這一問題，通常的做法是在工件熱處理前留有加工余量，熱處理后在加工去掉氧化、脫碳層等。
真空熱處理爐特點(diǎn)
(1)水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導(dǎo)別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應(yīng)該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運(yùn)行并有足夠的使用壽命。
(2)采用低電壓大電流：在真空容器內(nèi)，當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時(shí)，真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下，會(huì)產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi)，嚴(yán)重的會(huì)產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。同時(shí)在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)要采取有效措施，如盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發(fā)生。
(3)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對(duì)這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導(dǎo)熱系數(shù)小等要求。對(duì)抗氧化性能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因此，常規(guī)熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。
(4)嚴(yán)格的真空密封：眾所周知，金屬零件進(jìn)行真空熱處理均在密閉的真空爐內(nèi)進(jìn)行，因此，獲得和維持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的工作真空度，對(duì)確保零件真空熱處理的質(zhì)量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個(gè)關(guān)鍵問題，就是要有可靠的真空密封結(jié)構(gòu)。為了保證真空爐的真空性能，在真空熱處理爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中必須遵循一個(gè)基本原則，就是爐體要采用氣密焊接，同時(shí)在爐體上盡量少開或者不開孔，少采用或者避免采用動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，以盡量減少真空泄漏的機(jī)會(huì)。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導(dǎo)出裝置也都必須設(shè)計(jì)密封結(jié)構(gòu)。
(5)自動(dòng)化程度高：真空熱處理爐的自動(dòng)化程度之所以較高，是因?yàn)榻饘俟ぜ募訜帷⒗鋮s等操作，需要十幾個(gè)甚至幾十個(gè)動(dòng)作來完成。這些動(dòng)作在真空熱處理爐內(nèi)進(jìn)行，操作人員無法接近。同時(shí)，有些動(dòng)作如加熱保溫結(jié)束后，金屬工件進(jìn)行淬火工序須六個(gè)動(dòng)作并且要在15秒鐘以內(nèi)完成。在這樣迅速的條件來完成許多動(dòng)作，是很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此，只有較高的自動(dòng)化才能準(zhǔn)確、及時(shí)按程序協(xié)調(diào)動(dòng)。
真空熱處理爐加熱主要特點(diǎn)∶
1、傳熱方式∶輻射;
2、加熱速度慢;加熱均勻性差;
3、實(shí)現(xiàn)無氧化、不脫碳;
4、工件表面光亮好;
5、工件不易變形。
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