真空熱處理具有以下特點：
①高真空氣氛的化學活性很低。真空熱處理時，氧化、恢復、脫碳、增碳等氣相與固相界面的反應不會達到有影響的水平；
②高真空氣氛使氣體體積變化非常快，可導致金屬或合金釋放溶解氣體或金屬氧化物分解，由于高真空氣氛的特點，在高真空氣氛中，由于氧壓力很低，化學抑制，為了達到無氧化的目的，必須使氧壓力低于氧化物的分解壓力。
明亮的熱處理是一種熱處理方法，可以防止金屬工件在熱處理中發生氧化反應，仍然可以得到明亮的金屬表面。明亮的熱處理也可以在氬、氦、氮等稀有氣體中進行，也可以達到防止氧化的目的和要求。
真空熱處理可以實現所有金屬材料保持原表面清潔度、尺寸精度和性能要求，對于需要再加工的工件，可以大大降低熱處理前的加工余量，取消表面清洗過程（如酸洗、噴砂、拋丸等）。因此，真空熱處理是最有前途的工藝方法，也是最理想的熱處理“氣氛”熱處理設備占有率已達20%以上，特別是在航空、航天、電子元件、紡織、工模等領域。
真空除氣（脫氣）真空脫氣效果如下。金屬脫氣可以提高金屬的塑性和強度，在真空條件下，金屬工件溶解一定量的氣體（氡、氧、氮等。)，將從金屬表面溢出，有利于提高工件的塑性和強度，溫度越高，分子運動越強，更有利于促進金屬溶解氣體擴散到表面，提高真空，氣壓越小，有利于擴散在金屬表面的氣體溢出。
