真空熱處理是一種理想化的無空氣氧化、無滲碳的明亮熱處理工藝技術性。可是，在真空熱處理全過程中金屬元素的蒸發、零件表面鋁合金原素的貧化、耐腐蝕特性的降低及其提升零件的表面光澤度等難點是難以避免要出現的。
純金屬材料及鋁合金中的金屬元素在一定的溫度及真空值下能造成蒸發。它對零件的真空熱處理品質、對真空泵加熱室的環境污染均擁有 不容忽視的危害危害。依據相平衡論，在不一樣溫度下，金屬材料蒸發功效于金屬材料表面上的均衡工作壓力(蒸汽壓)是不一樣的。伴隨著溫度的上升，蒸汽壓也上升。當環境壓力低于該溫度下金屬元素的蒸汽壓時，金屬元素便會造成蒸發(提升)。環境壓力越小，即真空值越高，金屬元素就越非常容易蒸發。在同樣的標準下蒸汽壓高的原素比蒸汽放低的原素更非常容易蒸發。
鋁合金中(包含零件原材料、真空泵加熱室的構造原材料及工工裝夾具原材料)或是捆扎零件用的細鐵絲的表面，假如帶有蒸汽壓高的金屬元素(如Ag、Al、Mn、Cr、Si、Pb、Zn、Mg、Cu等)，在真空泵中加熱時，當真空值高過金屬元素的蒸汽壓，則金屬元素將造成蒸發，蒸發出去的金屬元素，呈汽體形狀緊緊圍繞在固態金屬材料的周邊，黏附并環境污染金屬材料表面，制冷時導致零件中間或零件與料筐中間的互相粘合，比較嚴重的時候會導致加熱元器件與爐墻間的短路故障。蒸發比較嚴重時，造成零件表面鋁合金原素貧化而危害特性，而且導致表面不光滑，危害零件的表面光澤度。
因而，在真空技術中加熱解決，真空值的有效操縱是一個非常關鍵的難題，務必制定嚴苛的加工工藝和程序流程設置操縱。
底壓汽體維護可降低金屬元素蒸發。為降低或防止鋁合金原素的蒸發，能夠 采用向真空泵加熱房間內自動充電高純度中性或稀有氣體(如N2、氬氣、氦氣等)的方式 來提升氣體壓強。將真空泵房間內的氣體壓強調整在0.1～650Pa的范疇內。這類真空泵維護氛圍熱處理工藝方式 又稱之為底壓汽體保障法，既可避免 鋁合金原素的蒸發，又可得到明亮的表面。這類方式 的另一個益處是提升了對廣為流傳熱功效，更有益于零件的勻稱加熱。真空泵維護氛圍熱處理工藝法所應用的汽體純凈度一般應超過99.99%。若自動充電的中性或稀有氣體的純凈度不足，不但不容易減少鋁合金原素的蒸發速率，反倒會使之提升，導致零件表面鋁合金原素貧化，耐腐蝕工作能力降低。不銹鋼板帶有很多的Cr、Ni、AL、Mn、Ti等鋁合金原素，其蒸汽壓都較為高。
真空泵時效處理規定在較高的真空值(1.33×10-2～1.33×10-3pa)下開展;為避免 鋁合金原素的蒸發，應選用真空泵分壓電路解決，即先將加熱室的真空泵抽至1.33×10-2～1.33×10-3pa，隨后自動充電高純度中性或稀有氣體，使打氣氣體壓強維持在133～13.3pa或是高些。高純度中性或稀有氣體要持續保持向加熱房間內自動充電，一是使汽體充足具有維護功效，提升氣體壓強降低金屬元素蒸發;二是提升汽體對廣為流傳熱功效，更有益于零件的勻稱加熱。真空泵時效性可選用較高的真空值(1.33×10-2～1.33×10-3pa)。因為時效性時間較長，因此 ，退火爐的壓升率最好是小于或等于0.67Pa/h，不然，不容易確保零件的表面光澤度。
真空熱處理選用分壓電路加熱時自動充電汽體應挑選高純的中性或稀有氣體，氫、氦、氮、氬等汽體普遍汽體，其四種汽體的制冷速率由快至慢先后為氫、氦、氮、氬。如以氣體的冷速為1，則氫、氦、氮、氬與氣體的冷速之比各自為7、6、0.99、0.7。
氡氣在一切氣體壓強下都具備較大 的導熱工作能力及較大 的冷速，能夠 用以高純石墨做為加熱和隔熱保溫元器件的退火爐。可是，對碳含量高的鋼材牌號，在制冷的高溫環節(1050℃之上)有可能導致輕度滲碳;用以高強度鋼板則有堿脆的風險。用氫作制冷物質的氣路系統軟件應密閉式靠譜，進行制冷實際操作后，應立即排出來氡氣，并充進N2，即可開啟爐口，不然，有造成發生爆炸的風險。
氦氣的價錢最大。因為它在底壓下也是有一定的制冷工作能力，因此 ，一般在1×10-4Pa下列的打氣氣體壓強下應用。
N2是最常見的汽體，也最劃算。在略低大氣壓力氣體壓強下開展強制性循環系統制冷，制冷地震烈度值可升高約20倍。在200～1200℃范疇內，N2對一般鋼呈中性，對鋁合金、不銹鋼板、耐熱合金等呈一定的特異性，若在N2分壓電路下開展真空泵加熱和制冷，零件表面有Cr2N產生，造成 表面特性受到影響，即抗壓強度提升，橫斷面縮水率降低，抗腐蝕也會遭受一定的危害。因此 不適合用N2。
氬氣比較普遍，價格對比氦氣劃算，但比N2貴，在不適合應用N2的場所，如不銹鋼板，耐熱合金與鋁合金的真空泵加熱和制冷，應用氬氣實際效果更強。
因而，在真空熱處理全過程中必須向加熱室自動充電高純度中性或稀有氣體，進而提升加熱房間內真空泵工作中氣體壓強，降低金屬元素的蒸發，防止造成零件表面鋁合金原素貧化而危害熱處理工藝后零件的耐腐蝕特性，分壓電路氣體壓強及其分壓電路時間務必挑選適度，才可以做到降低蒸發，又可得到表面明亮的實際效果。